「创造と进化」受け継がれる开発者魂～社会へ贡献する想いを胸に次代にリーチする～
「滨惭笔贬贰础罢」と「滨惭笔贬贰础罢-Ⅱ」の诞生
研究用の初号機完成以降、技術陣はさらなる改善?改良に向け継続的な開発を進めていった。2010年にはNEDO（国立研究开発法人新エネルギー?産業技術総合開発機構）の開発プロジェクトに参画し6インチSiCウェーハの自動搬送システムを完成。さらに顧客の要求に応え、搬送シーケンスの最適化、ウェーハ面内の温度均一性向上、チャージアップ（帯電や放電によるトラブル）防止用高周波型プラズマフラッドガンの搭載などを実現。当時業界唯一の量産型のSiCパワーデバイス用イオン注入装置「IMPHEAT」を市場投入したのは2013年のことである。その後、省エネや省電力化、環境性能へのニーズの高まりを背景に、SiCパワーデバイス市場の拡大が見込まれることから、新たな挑戦を開始した。「IMPHEAT」をベースに、自動搬送システムなどの構造の最適化、短時間でSiCウェーハを高温化するための予備加熱プロセスの追加、搬送アームのデュアル化、イオンビームを倍増するなどの改良を重ねた結果、処理時間の短縮化を実現。さらにイオンビームの安定性向上とビーム量増加を目指し、イオンビーム電流を2倍にできるイオン源の改良にも成功した。これらによって、1時間当たりのウェーハ処理枚数が100枚となり従来比約3倍に向上。これが各方面から高く評価された「IMPHEAT-Ⅱ」である。2019年に発表、2020年から納入を開始している。
次世代イオン注入装置への挑戦
初号机の开発に関わった技术阵の志を継ぐ若手技术者も育っている。现在、若手技术者を中心に开発が进められているのが、「滨惭笔贬贰础罢-Ⅱ」のバージョンアップともいえる次世代のイオン注入装置である。これまで改善?改良を続け、狈滨颁のイオン注入装置は进化を続けてきたが、実はそこに横たわる解决しなければならない课题は、初号机以来変わっていない。それは自动搬送システムのさらなる最适化であり、高温化时间の一层の短缩化であり、イオンビームを大量かつ长时间、安定的に出すことだ。これらの高度化が、初号机以来の取り组みだったと言っていい。新たなイオン源开発に挑戦しているのが、平井裕也である。
「常に追求しているのは、ビーム电流を増やすこと、ビームを安定稼働させることです。それが竞合他社と差别化できる大きな要素になります。材料やプロセスガスを変更することで、ビーム电流を従来の2倍に増やすことができました。さらに结晶を破壊することなくイオンをウェーハに深く注入することが求められる中、结晶方位を测定できる机器の开発も进めました」（平井）
井上真辅の担当は自动搬送システムの制御设计だ。
「安定的な搬送の実现は、长年にわたって検讨が进められてきましたが、いまだ道半ばです。もちろん、かつてより安定的な搬送が実现しています。しかし、加热における时间のロス、热による変形や歪み、割れはいまだに発生します。狈骋となるウェーハゼロを目指しています。ウェーハの保持には静电チャックに加え、爪で押さえるメカニカルクランプも採用。制御と机械构造、物理のノウハウ、知见を活かして安定した自动搬送を実现したいと考えています」（井上）
王建が取り组んでいるのは、自动搬送システムの机械设计だ。
「搬送は、大気侧のロボットハンド上にウェーハを真空吸着して行います。しかし、高温イオン注入によりウェーハが反ることで、ロボットの吸着部と吸着部上に载置されるウェーハとの间には隙间が生じてしまい、真空吸着を用いたウェーハの搬送ができなくなります。今取り组んでいるのは、高い耐热性と柔软性を持った吸着パッドの开発です。柔软であれば反りに応じた动きが可能になり、隙间発生を抑制できます」（王）
上野宏优は、顾客毎の装置の仕様、组み立て、引き渡しまでの一连の业务を担当してきた。最近では専门である机械设计の立场から、他社との差别化のポイントとなる自动搬送システムの1时间当たりの処理枚数の向上をサポートする一方、新たな开発业务にも着手している。
「今までは、SiCで先行する国内向け半导体メーカーと共に伸びてきた経緯がありますが、これからは伸長著しい欧米や中国等海外向けメーカーにも受けの良いレイアウトなどの装置開発にも取り組んでいきたいと考えています」（上野）
こうした取り组みの结果、次世代装置の完成は间近。今年度中に社内机を完成させて検証を重ね、来年には市场にリリースする计画だ。
常にチャレンジし続けることが、社会?世界への贡献に繋がっていく
彼らはイオン注入装置开発への想い、その魅力を次のように语っている。
「新たな技术へのチャレンジの连続であり、それが新たな価値を生み出し、全世界の人に利用されること。それがこの开発业务の醍醐味であり面白さですね」（平井）
「イオン注入装置は目にはつきませんが、縁の下で活跃して新しい顾客価値を生み出している。当社の优位性を保ちながら、シェアを広げていきたいですね」（井上）
「イオン注入は、化学、物理、工学をはじめすべてのサイエンスが投入されている世界。そのこと自体を楽しんでいます。またカーボンニュートラルへの贡献など、世の中を良くするための开発であるところにやりがいを感じています」（上野）
「既存技术と自分のアイデアで、より良い装置にしていくこと。それは自分の考えや想いをカタチにできることであり、技术者冥利に尽きる仕事だと感じています」（王）
技术阵のこれらの想いを受けて、実际にどのような市场戦略が进められているのか。最终章で见ていきたい。
オープンでフレキシブルに思考できる空间
イオン注入技術の最先端R&D拠点として建設された日新イオン机器（株）滋贺事业所、通称「LINK SQUARE」*。そこには、新しい価値の創造のため、コミュニケーションを活性化させ、イノベーションを誘発する環境づくりへの工夫が随所に施されている。開放的で、明るく、自由にコミュニケーションが取れる空間は、想像力と主体性、そしてチームワークを育んでいく。
*「LINK SQUARE」には、LINK＝つながる、SQUARE＝街?広場という意味から、「ヒト?モノ?コトがつながる街」をイメージするとともに、L：learn（学びの場）、IN：innovative（革新の場）/ inspire（触発の場）/ interact（交流の場）、K：knock on the next door（to the future）（次の扉をたたく場）であってほしいとの願いを込めている。
